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抽真空操作规程
 

1. 关闭程序切断扫描管电压,关闭通大气阀。

2. 开启旋转泵,待声音变小后,再开启分子泵,转速达36000后,启动真空表。

3. 抽真空结束后,按相反的顺序操作。磁悬浮分子泵使用时。一定要确认停止磁悬浮分子泵停止旋转之后,才能关闭电源,否则转速要急剧变化,将会发生泵的损坏等故障。

4.抽真空时,最低也务必排到压力为10-2Torr(1.33Pa)以下。在低真空状态(10-1~102Torr)下外加电压时scanner会引起放电,将导致断线等故障。

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